SJ6000機(jī)床激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

機(jī)床激光干涉儀產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測(cè)量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

從數(shù)控機(jī)床到機(jī)器人，SJ6000激光干涉儀為您提供一站式精度校準(zhǔn)方案

在制造領(lǐng)域，設(shè)備的幾何精度直接決定了產(chǎn)品的加工質(zhì)量。無(wú)論是新機(jī)床的驗(yàn)收，還是在用設(shè)備的定期校準(zhǔn)，您都需要一款功能強(qiáng)大且適應(yīng)性廣的測(cè)量工具。

SJ6000激光干涉儀憑借豐富的模塊化組件，覆蓋了以下核心應(yīng)用場(chǎng)景：

1.線性軸高精檢測(cè)：適用于機(jī)床、三坐標(biāo)（CMM）、自動(dòng)化設(shè)備及線性位移平臺(tái)，可精準(zhǔn)測(cè)量定位精度、重復(fù)定位精度及反向間隙。

2.多維幾何量測(cè)量：結(jié)合不同鏡組，可輕松實(shí)現(xiàn)角度（俯仰/扭擺）、直線度、垂直度、平行度及平面度的高精度測(cè)。

3.回轉(zhuǎn)軸與五軸機(jī)床校準(zhǔn)：搭配WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)，可對(duì)直驅(qū)電機(jī)（DD馬達(dá)）及機(jī)床回轉(zhuǎn)軸進(jìn)行0~360°的校準(zhǔn)；針對(duì)搖籃軸等無(wú)中心軸結(jié)構(gòu)，更提供偏心軸測(cè)量解決方案。

4.動(dòng)態(tài)性能分析：不僅僅是靜態(tài)測(cè)量，還能進(jìn)行位移、速度、加速度及振幅頻率的動(dòng)態(tài)分析，適用于絲桿導(dǎo)軌動(dòng)態(tài)特性及驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)響應(yīng)特性的深度診斷。

一機(jī)多用，SJ6000助您輕松應(yīng)對(duì)復(fù)雜多變的工業(yè)測(cè)量挑戰(zhàn)。

配件與證書(shū)

五、注意事項(xiàng)

• 對(duì)角線測(cè)量套裝配置需求：對(duì)角線測(cè)量套裝＋可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡

• 平面度測(cè)量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

• 平行度測(cè)量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍，選擇相應(yīng)直線度鏡組即可

• 短垂直度測(cè)量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

• 長(zhǎng)垂直度測(cè)量(1.0~20.0)m配置需求：長(zhǎng)直線度鏡組＋垂直度鏡組

• 直線度附件：主要應(yīng)用于Z軸的直線度測(cè)量和垂直度測(cè)量

注：產(chǎn)品參數(shù)與配置以實(shí)際交付為準(zhǔn)，中圖儀器保留根據(jù)技術(shù)升級(jí)調(diào)整相關(guān)內(nèi)容的權(quán)利，恕不另行通知。