激光的高方向性、高相干性和高單色性特點，使其具有普通光源所沒有的優(yōu)勢。以激光干涉技術(shù)為核心，SJ6000激光干涉儀機床精度測試的分辨率可達納米級。采用的激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，并且干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免了干涉鏡受熱影響，保證了干涉光路穩(wěn)定可靠。

產(chǎn)品參數(shù)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品特點

1）測量精度高

2）檢測功能多

3）可設(shè)定補償方式，自動生成報表

4）具有動態(tài)測量（位移-時間曲線、速度-時間曲線、加速度-時間曲線）及測量振幅和頻率分析的功能

5）內(nèi)置多種機床檢驗標準

6）可選擇手動或自動對波長進行環(huán)境補償

7）安裝方便：基本重量為15kg，簡單便攜。

激光干涉儀的主要的應(yīng)用之一就是機床精度檢測。SJ6000激光干涉儀可以通過與不同的光學(xué)組件結(jié)合，對數(shù)控機床進行動態(tài)性能檢測，如可以測量數(shù)控機床的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度等動態(tài)參量。其線性定位測量的精度是0.5ppm，可以滿足現(xiàn)在所有類型數(shù)控機床精度檢測，它可以棄普通車間進行應(yīng)用，具有更強的環(huán)境適應(yīng)能力，同時可進行動態(tài)高速測量，配以相應(yīng)元件后還可以測量角度、線速度、平面度、振動幅度及速度等。

SJ6000激光干涉儀機床精度測試的案例

1、檢測五軸機床旋轉(zhuǎn)軸精度

測量系統(tǒng)：激光頭+角度干涉鏡+角度反射鏡

旋轉(zhuǎn)軸的角度反射鏡是安裝在轉(zhuǎn)臺組件上，該組件可以繞中心自身旋轉(zhuǎn)。在測量時，待測的旋轉(zhuǎn)軸向正方向旋轉(zhuǎn)某一個角度后，轉(zhuǎn)臺組件會沿著其逆方向精確地旋轉(zhuǎn)該角度，例如待測軸沿正方向旋轉(zhuǎn)15°，由于誤差的存在，則可能旋轉(zhuǎn)（15+ Δ）°；此時，轉(zhuǎn)臺組件會沿著逆方向精確旋轉(zhuǎn)，即沿負方向精確旋轉(zhuǎn) 15°，這樣就使得角度干涉鏡可以保持正對著激光頭。而誤差 Δ就是旋轉(zhuǎn)軸的定位誤差。

2、直線度測量

在直線度測量過程中，可以由直線度干涉鏡或直線度反射鏡運動所產(chǎn)生相對于運動軸的橫向移動來進行測量，但為了提高測量的準確度和精度，一般都采用直線度干涉鏡相對于直線度反射的運動。SJ6000直線度測量可以對水平面和垂直面進行測量，這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。

SJ6000激光頭出射后的激光由直線度干涉鏡以一定的小角度分為兩束，并入射到直線度反射鏡中。經(jīng)直線度反射鏡反射后，沿著新光路返回到直線度干涉鏡種，鏡直線度干涉鏡合束后返回激光頭的進光口，有光電探測器、分析器完成計數(shù)和測量。如機器軸直線度誤差的測量（數(shù)控機床、坐標測量機等），由于導(dǎo)軌磨損、事故造成的導(dǎo)軌損壞以及地基不牢導(dǎo)致的導(dǎo)軌彎曲等，會對機器的定位、加工精度帶來直接的影響。直線度測量可以顯示出機器導(dǎo)軌的彎曲或直線度的情況，并可由生成的直線度誤差對機器的性能做出評價和補償。

測量機床直線度

3、垂直度測量

如機器軸垂直度誤差測量（數(shù)控機床、坐標測量機等），SJ6000激光干涉儀垂直度測量是通過比較直線度值從而確定兩個標稱正交坐標軸的非直角度，即在同一基準上對兩個標稱正交軸分別進行直線度的測量。然后對兩個軸的直線度進行比較，得出兩個軸的垂直度。共同的參考基準通常指的是兩次測量時反射鏡的光學(xué)準直軸，在兩次測量過程中既不移動、也不調(diào)整，光學(xué)直角尺測量中，允許調(diào)整激光束與直線度的準直，而不動直線度反射鏡。

典型情況下對于1.5米長的機器軸，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因為傳統(tǒng)的實物基準，如直角尺（金屬或大理石等）的長度一般局限于1米的范圍內(nèi)。

測量機床垂直度

中圖儀器一直以實現(xiàn)高精密儀器自主化為己任，客戶對我們的認可是我們不斷前行的動力！未來，中圖儀器還將專注于精密測量檢測技術(shù)的發(fā)展，自強不息、知難而上、勇于創(chuàng)新！